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              產品名稱:XYZ直線電機滑臺
              產品概要:
              -- 直線軸XYZ納米級定位精度;
              -- 精密交叉滾柱導軌。
              -- 主體鋁合金材質
              產品精度:
              -- XY軸重復精度±100nm
              -- Z軸重復精度±200nm
              產品名稱:XYθ平臺
              產品概要:
              -- 直線軸XY+旋轉軸θ電機平臺;
              -- 小行程精密運動場合;
              產品精度:
              -- XY軸重復精度±0.5μm
              -- θ旋轉軸精度±2.5arcsec
              產品名稱:耦合平臺
              產品概要:
              -- 直線軸XYZ+旋轉軸ABC共6軸電機平臺;
              -- 適用光纖耦合;
              產品精度:
              -- XYZ軸重復精度0.3μm
              -- ABC旋轉軸重復精度±1.5arc sec
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